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刻蚀设备RTD晶圆测温系统（RTDWafer）
RTD WAFER TEMPERATURE MEASUREMENT
SYSTEM FOR ETCHING EQUIPMENT
Thermo-349R【晶圆测温系统】
Thermo-349R系列RTD晶圆温度测量系统，可用于8-12英寸晶圆配置，记录等离子刻蚀工艺环境对真实工艺条件下生产晶圆的影响。Thermo-349R温度测量系统包含高精度温度传感器，能够实现晶圆整体温度监测，而这与半导体刻蚀工艺的均匀性控制密切相关。配合TCWafer温度数据读取适配的多功能仪器。内含软件可以读取TCWafer测温数据并进行分析。
产品特点
传输通道数量可定制；
优异的软件功能,可用图形及颜色显示温度分布状况；
数据可储存调用；
可提供各个量温点的温度曲线图及温度剖面图。【晶圆测温系统】
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