无线Wafer

无线晶圆温度测量系统(wl-WTMS)是在晶圆中嵌入了一个完整的测量系统，可以测量并记录蚀刻工艺环境对真实工艺条件下生产晶圆的影响，无需有线连接。无线晶圆温度测量系统(wl-WTMS)通过测量与产品工艺接近条件下的温度数据，可以帮助工艺工程师完成调整蚀刻工艺条件，验证及匹配腔体、和PM后的验证等工作。